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スパッタ ギジュツ
スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
出版情報 東京 : 共立出版 , 1988.6
本文言語 日本語
大きさ v,227p ; 22cm

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書庫2階 549:W414
4320084772 880460590

書誌詳細を非表示

著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89
巻冊次 ISBN:4320084772 ; PRICE:3500円 REFWLINK
ISBN 4320084772
NCID BN02297664
目次/あらすじ

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