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SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 産業図書 , 1987.10
本文言語 日本語
大きさ 281p ; 22cm

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書庫2階 549.8:F937s
4782856253 880156552

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著者標目 古川, 静二郎 <フルカワ, セイジロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
NDLSH:シリコン(半導体)
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4782856253 ; PRICE:4200円 REFWLINK
ISBN 4782856253
NCID BN01517109
目次/あらすじ

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