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ハンドウタイ イオン チュウニュウ ギジュツ
半導体イオン注入技術 / 蒲生健次編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 産業図書 , 1986.7
本文言語 日本語
大きさ 212p ; 22cm

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書庫2階 549.8:G185
4782856245 880452238

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一般注記 各章末:参考文献
著者標目 蒲生, 健次 <ガモウ, ケンジ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:4782856245 ; PRICE:3200円 REFWLINK
ISBN 4782856245
NCID BN00623257
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