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マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
(
応用物理学選書
;
8
)
データ種別
図書
出版情報
東京 : 裳華房 , 1998.3
本文言語
日本語
大きさ
x, 234p ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
請求記号
巻 次
ISBN
資料番号
資料状態
利用注記
コメント
予約・取寄
申込書
仮想書架
書庫2階
549.8:Y865
4785325089
002720207
予約・取寄
仮想書架
予約・取寄
仮想書架
書誌詳細を非表示
別書名
その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記
欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書
著者標目
吉田, 善一(1957-)
<ヨシダ, ヨシカズ>
件 名
BSH:
集積回路
BSH:
電子光学
NDLSH:
半導体
NDLSH:
機械工作
分 類
NDC8:
549.7
NDC9:
549.7
NDC9:
549.8
NDLC:
ND371
巻冊次
ISBN:4785325089 ; PRICE:3990円
ISBN
4785325089
NCID
BA35144601
目次/あらすじ
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