IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC 96 proceedings, November 11-14, 1996, Cambridge, Massachusetts
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Piscataway, NJ : IEEE Service Center |
| 出版年 | c1996 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | vi, 479 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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| 2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1996 |
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002581473 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:96CB35953 96CH35953 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 96CH35953" "Theme - Innovation approaches to growth in the semiconductor industry" |
| 著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (7th : 1996 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
| 件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Computer integrated manufacturing systems -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
| 巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780333713  : case. ; ISBN:0780333721
|
| ISBN | 0780333713 |
| NCID | BA29910565 |
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