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Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

データ種別	雑誌
出版情報	New York : American Institute of Physics , 1983-1990
巻次年月次	Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)
ISSN	0734211X
別書名	略タイトル:J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom キータイトル:Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena
変遷注記	継続前誌:Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
大きさ	8 v. : ill. ; 29 cm

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配架場所	所蔵巻次	年次	コメント
中央図書館(雑誌・紀要・新聞)	7-8	1989-1990

所蔵巻号一覧

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配架場所	新着BOX	巻号	年次/刊行日	資料種別	資料状態	請求記号	資料番号	受入日	コメント	申込書
2号館集密書庫(雑誌) 8(6) 1990-
2号館集密書庫(雑誌)		8(6)	1990-	製本		Za22:J82990	100200476			申込書	申込書
2号館集密書庫(雑誌) 8(1-5) 1990-
2号館集密書庫(雑誌)		8(1-5)	1990-	製本		Za22:J82990	100200467			申込書	申込書
2号館集密書庫(雑誌) 7 pt.2 (5-6) 1989-
2号館集密書庫(雑誌)		7 pt.2 (5-6)	1989-	製本		Za22:J82990	100085411			申込書	申込書
2号館集密書庫(雑誌) 7 pt.1 (1-4) 1989-
2号館集密書庫(雑誌)		7 pt.1 (1-4)	1989-	製本		Za22:J82990	100085402			申込書	申込書

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一般注記	Title from cover Issued also on microfilm
刊行頻度	隔月刊
NCID	AA10635106
本文言語	英語