Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges / J. Dabrowski, E.R. Weber (eds.)
(Springer series in materials science ; 72)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin ; New York : Springer-Verlag |
| 出版年 | c2004 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xvii, 490 p. : ill. (some col.) ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7871.85:P678:2004 |
|
3540204814 | 004168849 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Dabrowski, Jarek Weber, Eicke R. |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Simulation methods
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LCSH:Microelectronics -- Technological innovations 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC22:621.3815/2 |
| 巻冊次 | ISBN:3540204814 
|
| ISBN | 3540204814 |
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