Etching in microsystem technology / Michael Köhler ; translated by Antje Wiegand
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Weinheim ; New York : Wiley-VCH |
| 出版年 | c1999 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xvi, 368 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7872:M3:K64:1999 |
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3527295615 | 003242045 |
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書誌詳細を非表示
| 別書名 | 原タイトル:Ätzverfahren für die Mikrotechnik |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references (p. [345]-360) and index |
| 著者標目 | *Köhler, J. M. (J. Michael), 1956- Wiegand, Antje |
| 件 名 | LCSH:Masks (Electronics) LCSH:Microlithography LCSH:Plasma etching FREE:Microlithography |
| 分 類 | LCC:TK7872.M3 |
| 巻冊次 | ISBN:3527295615 
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| ISBN | 3527295615 |
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