IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC 97 proceedings, September 10-12, 1997, Cambridge, Massachusetts
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Piscataway, NJ : IEEE Service Center |
| 出版年 | c1997 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | vi, 460 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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| 2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1997 |
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002631125 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:97CH36089 97CB36089 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 97CH36089" "Theme - the quest for semiconductor manufacturing excellence: leading the charge into the 21st Century" |
| 著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (8th : 1997 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
| 件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
| 巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780340507  : case. ; ISBN:0780340515
|
| ISBN | 0780340507 |
| NCID | BA32832288 |
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