プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N.Chapman著 ; 岡本幸雄訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 電気書院 |
| 出版年 | 1985.11 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 391p ; 22cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | 427.6:C333 |
|
4485661180 | 870187397 |
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書誌詳細を非表示
| 別書名 | 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
|---|---|
| 一般注記 | 参考文献:p357-386 |
| 著者標目 | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| 巻冊次 | ISBN:4485661180 ; PRICE:5700円 
|
| ISBN | 4485661180 |
| NCID | BN00319697 |
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