Introduction to microfabrication / Sami Franssila
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ : J. Wiley |
| 出版年 | c2004 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xvii, 401 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7875:F73:2004 | : pbk | 0470851066 | 004168894 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Franssila, Sami |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Electronic apparatus and appliances LCSH:Microfabrication |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC22:621.3 |
| 巻冊次 | : cloth ; ISBN:0470851058  : pbk ; ISBN:0470851066
|
| ISBN | 0470851058 |
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