Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS / Vijay K. Varadan, Xiaoning Jiang and Vasundara V. Varadan
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Chichester ; New York : Wiley |
| 出版年 | c2001 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 260 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7875:V37:2001 |
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047152185X | 003376245 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Varadan, V. K., 1943- Jiang, Xiaoning Varadan, V. V., 1948- |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
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LCSH:Microlithography LCSH:Three-dimensional display systems |
| 分 類 | LCC:TK7875 |
| 巻冊次 | ISBN:047152185X 
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| ISBN | 047152185X |
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