Microsystem design / Stephen D. Senturia
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston : Kluwer Academic Publishers |
| 出版年 | c2001 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xxvi, 689 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7875:S46:2000 |
|
0792372468 | 003355086 |
|
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| 一般注記 | Includes index Bibliography: p.[665]-676 |
|---|---|
| 著者標目 | *Senturia, Stephen D., 1940- |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
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LCSH:System design LCSH:Microelectronics |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC21:621.381 |
| 巻冊次 | ISBN:0792372468 
|
| ISBN | 0792372468 |
| NCID | BA50267345 |
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