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ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健[ほか]共著
(Maruzen advanced technology ; . 材料工学編 / 堂山昌男[ほか]編 ; M08)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1991.3
本文言語 日本語
大きさ xi,262p ; 22cm

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書庫2階 549.7:F933
4621035835 000422020

書誌詳細を非表示

著者標目 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ>
石原, 健 <イシハラ, タケシ>
堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4621035835 ; PRICE:$4800 REFWLINK
ISBN 4621035835
NCID BN06180206 WCLINK
目次/あらすじ

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