ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健[ほか]共著
(Maruzen advanced technology ; . 材料工学編 / 堂山昌男[ほか]編 ; M08)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 丸善 |
出版年 | 1991.3 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | xi,262p ; 22cm |
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配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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書庫2階 | 549.7:F933 |
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4621035835 | 000422020 |
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書誌詳細を非表示
著者標目 | 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ> 石原, 健 <イシハラ, タケシ> 堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ> |
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件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:集積回路 |
分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
巻冊次 | ISBN:4621035835 ; PRICE:$4800 |
ISBN | 4621035835 |
NCID | BN06180206 |
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