マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ)
データ種別 | 図書 |
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版 | 普及版 |
出版情報 | 東京 : シーエムシー出版 , 2016.3 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | ix, 301p ; 26cm |
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配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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書庫2階 | 549.7:Ma314:2016 |
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9784781311012 | 007253625 |
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別書名 | 標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術 異なりアクセスタイトル:新材料新素材シリーズ |
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一般注記 | 2009年刊の普及版 文献: 章末, ほか |
著者標目 | 式田, 光宏(1964-) <シキダ, ミツヒロ> 佐藤, 一雄(1948-) <サトウ, カズオ> 田中, 浩 <タナカ, ヒロシ> |
件 名 | NDLSH:半導体 NDLSH:表面 (工学) BSH:リソグラフィー |
分 類 | NDC9:549.7 |
巻冊次 | ISBN:9784781311012 ; PRICE:4800円+税 |
ISBN | 9784781311012 |
NCID | BB2089414X |
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