プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 第2版 |
| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 2010.1 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | 427.6:L623:2010 |
|
9784621082232 | 005630204 |
|
|
書誌詳細を非表示
| 別書名 | 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理 |
|---|---|
| 一般注記 | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
| 著者標目 | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル> |
| 件 名 | BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
| 巻冊次 | ISBN:9784621082232 ; PRICE:18000円+税 
|
| ISBN | 9784621082232 |
| NCID | BB00985264 |
目次／あらすじ
類似資料
この資料を見た人はこんな資料も見ています
この資料の利用統計
このページへのアクセス回数：6回
※2021年9月12日以降
全貸出数：7回
(3か月以内の貸出：0回)
※2002年7月22日以降