Chemical mechanical polishing in silicon processing / volume editors, Shin Hwa Li, Robert O. Miller
(Semiconductors and semimetals ; vol. 63)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | San Diego : Academic Press |
| 出版年 | c2000 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xv, 307 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | QC:610.9:S47:v.63 |
|
0127521720 | 002850708 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Li, Shin Hwa Miller, Robert O. |
| 件 名 | LCSH:Grinding and polishing LCSH:Silicon |
| 巻冊次 | ISBN:0127521720 
|
| ISBN | 0127521720 |
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