Materials & process integration for MEMS / edited by Francis E.H. Tay
(Microsystems ; v. 9)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston : Kluwer Academic |
| 出版年 | c2002 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xix, 299 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7875:M373:2002 |
|
1402071752 | 003708237 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Tay, Francis E. H |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems |
| 分 類 | DC21:621.381 LCC:TK7875 |
| 巻冊次 | ISBN:1402071752 ; PRICE:£84.00 
|
| ISBN | 1402071752 |
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