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Proceedings / International Symposium on Semiconductor Manufacturing, ISSM

データ種別	図書
出版者	[New York, N.Y.] : Institute of Electrical and Electronics Engineers
出版年	c1995-
本文言語	英語
大きさ	v. : ill. ; 28 cm

配架場所	請求記号	巻　次	ISBN	資料番号	資料状態	利用注記	コメント	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1995	1995		002067681				予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1997	1997		002712440				予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架

別書名	その他のタイトル:IEEE/UCS/SEMI International Symposium on Semiconductor Manufacturing その他のタイトル:IEEE, UCS, SEMI International Symposium on Semiconductor Manufacturing その他のタイトル:ISSM 表紙タイトル:IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing その他のタイトル:IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium その他のタイトル:IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing : conference proceedings
一般注記	Sponsored by the IEEE's Electron Devices Society, and Components, Packaging, & Manufacturing Technology Society, and by the Ultra Clean Society, with Semiconductor Equipment and Materials International
著者標目	*International Symposium on Semiconductor Manufacturing IEEE Electron Devices Society Components, Packaging & Manufacturing Technology Society Semiconductor Equipment and Materials International Ultra Clean Society
件　名	LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor industry -- Production control -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor industry -- Management -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Process control -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85
巻冊次	1995- 1995 1997