OPAC

IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : [proceedings]

データ種別	図書
出版情報	New York, NY : Institute of Electrical and Electronics Engineers , c1989-c1994
本文言語	英語
大きさ	6 v. : ill. ; 28 cm

配架場所	請求記号	巻　次	資料番号	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1989	1989	890208067	予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1990	1990	000103402	予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1991	1991	000484707	予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1992	1992	001887132	予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7871.85:I26a:1993	1993	001440966	予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架

別書名	略タイトル:IEEE/SEMI Int. Semicond. Manuf. Sci. Symp キータイトル:IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium その他のタイトル:IEEE SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium その他のタイトル:International Semiconductor Manufacturing Science Symposium その他のタイトル:Proceedings 表紙タイトル:ISMSS International Semiconductor Manufacturing Science Symposium その他のタイトル:ISMSS proceedings
一般注記	Current Frequency:Annual Continued by: IEEE/UCS/SEMI International symposium on semiconductor manufacturing Some vols. lack numerical designation
著者標目	*IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International
件　名	LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor industry -- Production control -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor industry -- Management -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Process control -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2
巻冊次	1989-1994 1989 1990 1991 1992 1993