IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC 97 proceedings, September 10-12, 1997, Cambridge, Massachusetts
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版情報 | Piscataway, NJ : IEEE Service Center , c1997 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | vi, 460 p. : ill. ; 28 cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1997 |
|
|
002631125 |
|
|
書誌詳細を非表示
別書名 | 異なりアクセスタイトル:97CH36089 97CB36089 |
---|---|
一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 97CH36089" "Theme - the quest for semiconductor manufacturing excellence: leading the charge into the 21st Century" |
著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (8th : 1997 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Computer integrated manufacturing systems -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780340507 : case. ; ISBN:0780340515 |
ISBN | 0780340507 |
NCID | BA32832288 |
目次/あらすじ
類似資料
この資料の利用統計
全貸出数:0回
(3か月以内の貸出:0回)
※2002年7月22日以降