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IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC 95 proceedings, November 13-15, 1995, Cambridge, Massachusetts

データ種別	図書
出版情報	Mountain View, CA : Additional copies of these proceedings may be purchased from: SEMI , c1995
本文言語	英語
大きさ	vi, 391 p. : ill. ; 28 cm

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配架場所	請求記号	巻　次	ISBN	資料番号	資料状態	利用注記	コメント	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7836:I42:1995			002131346				予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架

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別書名	異なりアクセスタイトル:95CB35811
一般注記	Includes bibliographical references "IEEE catalog number 95CH35811" -- T.p. verso "Theme - Semiconductor Manufacturing: Economic Solutions for the 21st Century" -- T.p.
著者標目	IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (6th : 1995 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International
件　名	LCSH:Electronic industries -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Computer integrated manufacturing systems -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7836 DC20:621.381/52
巻冊次	: soft. ; ISBN:0780327136 : case. ; ISBN:0780327144 : micro. ; ISBN:0780327152
ISBN	0780327136
NCID	BA2793534X

目次／あらすじ