IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC 95 proceedings, November 13-15, 1995, Cambridge, Massachusetts
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | Mountain View, CA : Additional copies of these proceedings may be purchased from: SEMI , c1995 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | vi, 391 p. : ill. ; 28 cm |
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配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1995 |
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002131346 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:95CB35811 |
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一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 95CH35811" -- T.p. verso "Theme - Semiconductor Manufacturing: Economic Solutions for the 21st Century" -- T.p. |
著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (6th : 1995 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780327136 : case. ; ISBN:0780327144 : micro. ; ISBN:0780327152 |
ISBN | 0780327136 |
NCID | BA2793534X |
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