IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '94 proceedings, November 14-16, 1994, Cambridge, Massachusetts
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Mountain View, CA : Additional copies of these proceedings may be purchased from: SEMI |
| 出版年 | c1994 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | vi, 335 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1994 | : soft. | 0780320530 | 001744806 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:94CH3475-1 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 94CH3475-1"--T.p. verso "Theme - Manufacturing Excellence : A Global Challenge" |
| 著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (5th : 1994 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
| 件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Computer integrated manufacturing systems -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
| 巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780320530  : case. ; ISBN:0780320549 : micro. ; ISBN:0780320557
|
| ISBN | 0780320530 |
| NCID | BA24733134 |
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