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IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '93 proceedings, October 18-19, 1993, Boston, Massachusetts

データ種別	図書
出版者	Mountain View, CA : Additional copies of these proceedings may be purchased from SEMI
出版年	c1993
本文言語	英語
大きさ	vi, 253 p. : ill. ; 28 cm

配架場所	請求記号	巻　次	ISBN	資料番号	資料状態	利用注記	コメント	予約・取寄	申込書	仮想書架
2号館集密書庫(図書)	TK:7836:I42:1993			001440975				予約・取寄	申込書	仮想書架	予約・取寄	申込書	仮想書架

別書名	異なりアクセスタイトル:93CH33373
一般注記	Includes bibliographical references "IEEE catalog number 93CH3337-3"--T.p. verso
著者標目	IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (4th : 1993 : Boston, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International
件　名	LCSH:Electronic industries -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Computer integrated manufacturing systems -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7836 DC20:621.381/52