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Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Fort Lauderdale, Florida, February 7-10, 1993 / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division

データ種別 図書
出版情報 Piscataway : IEEE Service Center , c1993
本文言語 英語
大きさ xvii, 294 p. : ill. ; 28 cm

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2号館集密書庫(図書) TK:153:M4683:1993

001441488

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別書名 異なりアクセスタイトル:93CH32656
一般注記 "IEEE catalog number: 93CH3265-6"
Includes bibliographical references and indexes
著者標目 IEEE Robotics and Automation Society
American Society of Mechanical Engineers. Dynamic Systems and Control Division
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (1993 : Fort Lauderdale, Florida)
件 名 LCSH:Electromechanical devices -- Congresses  全ての件名で検索
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分 類 LCC:TK153
DC20:621.3
巻冊次 : soft. ; ISBN:078030957X REFWLINK
: case. ; ISBN:0780309588 REFWLINK
: micro. ; ISBN:0780309596 REFWLINK
ISBN 078030957X
NCID BA20290847
目次/あらすじ

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