IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '92 proceedings, September 30-October 1, 1992, Cambridge, Massachusetts
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Piscataway, NJ, USA : Additional copies of this proceedings may be purchased from IEEE Service Center |
| 出版年 | c1992 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | v, 232 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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| 2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1992 |
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000937290 |
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書誌詳細を非表示
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:92CH31823 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 92CH3182-3"--T.p. verso |
| 著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (3rd : 1992 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
| 件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
| 巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780307402  : case. ; ISBN:0780307410 : micro. ; ISBN:0780307429
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| ISBN | 0780307402 |
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