IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : ASMC '92 proceedings, September 30-October 1, 1992, Cambridge, Massachusetts
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | Piscataway, NJ, USA : Additional copies of this proceedings may be purchased from IEEE Service Center , c1992 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | v, 232 p. : ill. ; 28 cm |
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配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1992 |
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000937290 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:92CH31823 |
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一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 92CH3182-3"--T.p. verso |
著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (3rd : 1992 : Cambridge, Massachusetts) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780307402 : case. ; ISBN:0780307410 : micro. ; ISBN:0780307429 |
ISBN | 0780307402 |
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