Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xi, 361 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7874.75:L58:1987 |
|
0122341163 | 000382692 |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration
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LCSH:Printed circuits LCSH:Lithography |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 s DC19:621.381/73 |
| 巻冊次 | ISBN:0122341163 
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| ISBN | 0122341163 |
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