プロセス ヒョウカ
プロセス評価 / 西澤潤一編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 17巻 . 超LSI技術 ; 4)
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1981.6 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 12,446p ; 27cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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集密書庫(図書) | 549:H295:v.17 |
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820149754 |
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書誌詳細を非表示
一般注記 | 執筆:飯塚尚和ほか |
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著者標目 | 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ> |
件 名 | NDLSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549 NDLC:ND371 |
巻冊次 | PRICE:12000円 |
NCID | BN00182548 |
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