ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 技報堂出版 , 1985.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 2,2,3,145p ; 22cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | 534.93:St97 |
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4765503585 | 880444525 |
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