1998 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : theme - semiconductor manufacturing, meeting the challenges of the global marketplace : ASMC 98 proceedings, September 23-25, 1998, Boston, Massachusetts, USA
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Piscataway, NJ : IEEE Service Center |
| 出版年 | c1998 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | vi, 482 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2号館集密書庫(図書) | TK:7836:I42:1998 | : case. | 0780343816 | 002805636 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:98CH36168 異なりアクセスタイトル:98CB36168 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references "IEEE catalog number 98CH36168" |
| 著者標目 | IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (9th : 1998 : Boston, Mass.) Institute of Electrical and Electronics Engineers Semiconductor Equipment and Materials International |
| 件 名 | LCSH:Electronic industries -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7836 DC20:621.381/52 |
| 巻冊次 | : soft. ; ISBN:0780343808  : case. ; ISBN:0780343816
|
| ISBN | 0780343808 |
| NCID | BA41660569 |
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