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検索キーワード:(件名: #リソグラフィー)
該当件数:8件
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
東京 : 共立出版 , 2005.2. - (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
図書 <1001673324>
入門フォトマスク技術 : LSI, FPD, PWB, MEMSのためのフォトマスク / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久著
東京 : 工業調査会 , 2006.12
図書 <1002229120>
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4
図書 <1002936855>
フォトレジスト材料開発の新展開 / 上田充監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2015.11. - (CMCテクニカルライブラリー ; 562 . エレクトロニクスシリーズ)
図書 <1002827351>
ナノテクノロジーとレジスト材料 / 山岡亞夫監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2007.4. - (CMCテクニカルライブラリー ; 256)
図書 <1001830628>
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
東京 : オーム社 , 2007.6
図書 <1001836744>
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
東京 : 技術評論社 , 2012.1. - (現場の即戦力)
図書 <1003234579>
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2016.3. - (CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ)
図書 <1002858041>