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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修 T2 CMCテクニカルライブラリー A1 式田, 光宏(1964-) A1 佐藤, 一雄(1948-) A1 田中, 浩 YR 2016 FD 2016.3 SP ix, 301p K1 半導体 K1 表面 (工学) K1 リソグラフィー ED 普及版 PB シーエムシー出版 PP 東京 SN 9784781311012 LA Japanese (日本語) CL NDC9:549.7 NO 2009年刊の普及版 NO 文献: 章末, ほか NO 書誌ID=1002858041; NCID=BB2089414X; LK [OPAC]https://www.lib.sophia.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1002858041 OL 58