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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 入門フォトマスク技術 : LSI, FPD, PWB, MEMSのためのフォトマスク / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久著 A1 田辺, 功(1937-) A1 竹花, 洋一 A1 法元, 盛久 YR 2006 FD 2006.12 SP 323p, 図版 [3] p K1 リソグラフィー K1 フォトマスク PB 工業調査会 PP 東京 SN 4769312598 LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.7 CL NDC9:549.7 NO 参考文献: 各章末 NO 書誌ID=1002229120; NCID=BA79886837; LK [OPAC]https://www.lib.sophia.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1002229120 OL 58