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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳[ほか]執筆 T2 集積回路プロセス技術シリーズ / 菅野卓雄監修 A1 河東田, 隆(1944-) A1 菅野, 卓雄(1931-) A1 奥村, 次徳 YR 1989 FD 1989.2 SP viii,330p K1 半導体 K1 半導体 PB 産業図書 PP 東京 SN 478285627X LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.8 NO 書誌ID=1000133611; NCID=BN03233656; LK [OPAC]https://www.lib.sophia.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1000133611 OL 58