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チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1990.4
本文言語 日本語
大きさ 117p ; 19cm

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書庫2階 578.4:Ts344
4320085116 000019451

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著者標目 津田, 穣(1935-) <ツダ, ミノル>
件 名 BSH:集積回路
BSH:工業材料
BSH:薄膜
NDLSH:感光性樹脂
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC8:578.4
NDC7:549.8
NDLC:PA441
巻冊次 ISBN:4320085116 ; PRICE:1320円 REFWLINK
ISBN 4320085116
NCID BN04656779
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