チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1993.3 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 261,4p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
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書庫2階 | 549.8:A863 |
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4526032840 | 001149041 |
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書誌詳細を非表示
著者標目 | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
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件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 |
巻冊次 | ISBN:4526032840 ; PRICE:$3398 |
ISBN | 4526032840 |
NCID | BN08854220 |
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