Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies / edited by Yves Pauleau
(NATO science series ; Series II, Mathematics, physics, and chemistry ; . 55)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers |
| 出版年 | c2002 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 363 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TA:418.9:T45:C47:2002 |
|
1402005245 | 003642375 |
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| 一般注記 | "Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division." Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Pauleau, Y. |
| 件 名 | LCSH:Thin films -- Congresses
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LCSH:Nanotechnology -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TA418.9.T45 |
| 巻冊次 | ISBN:1402005245  : pbk ; ISBN:1402005253
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| ISBN | 1402005245 |
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