ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| 出版年 | 2017.4 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | 549.7:H293 |
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9784860434670 | 007524093 |
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