デンシセン リソグラフィ キョウホン
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2007.6 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xiii, 210p : 挿図 ; 21cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | 549.7:A363 |
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9784274204159 | 004871073 |
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