CMP ノ ジッセンテキ キソ ギジュツ
CMPの実践的基礎技術 / 渡邉純二著
(Focus Report ; 17)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | 東京 : EDリサーチ社 |
出版年 | 2004.8 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 86枚 ; 26cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
書庫2階 | 549.7:W464 |
|
490179034X | 004432854 |
|
|
書誌詳細を非表示
一般注記 | 参考文献: 章末 |
---|---|
著者標目 | 渡邉, 純二(1942-) <ワタナベ, ジュンジ> |
件 名 | NDLSH:集積回路 NDLSH:研磨法 |
分 類 | NDC9:549.7 |
巻冊次 | ISBN:490179034X |
ISBN | 490179034X |
目次/あらすじ
類似資料
この資料の利用統計
全貸出数:2回
(3か月以内の貸出:0回)
※2002年7月22日以降