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ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(
ビギナーズブックス
;
29
)
データ種別
図書
出版者
東京 : 工業調査会
出版年
2003.6
本文言語
日本語
大きさ
305p ; 21cm
書誌詳細を非表示
一般注記
参考文献: 各章末
著者標目
岡崎, 信次
<オカザキ, シンジ>
鈴木, 章義
<スズキ, アキヨシ>
上野, 巧
<ウエノ, タクミ>
件 名
NDLSH:
リソグラフィー
NDLSH:
半導体
分 類
NDC8:
549.7
NDC9:
549.7
巻冊次
ISBN:4769312245 ; PRICE:\2400
ISBN
4769312245
目次/あらすじ
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この資料の利用統計
全貸出数:9回
(3か月以内の貸出:0回)
※2002年7月22日以降