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ビサイ カコウ ト レジスト
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
本文言語 日本語
大きさ 99p ; 19cm

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書庫2階 549.7:N954b
4320042271 880131243

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著者標目 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4320042271 ; PRICE:1000円 REFWLINK
ISBN 4320042271
NCID BN01734322
目次/あらすじ

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