CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications / D. Lange, O. Brand, H. Baltes
(Microtechnology and MEMS)
(Physics and astronomy online library)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Springer |
| 出版年 | 2002 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | viii, 142 p. : 85 fig. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 請求記号 | 巻 次 | ISBN | 資料番号 | 資料状態 | 利用注記 | コメント | 予約・取寄 | 申込書 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 書庫2階 | TK:7875:L36:2002 |
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3540431438 | 003672732 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references (p. 131-140) and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Lange, D. ( Dirk), 1970- Brand, Oliver, 1964- Baltes, H. (Henry) |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
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LCSH:Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Levers -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Atomic force microscopy -- Equipment and supplies -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Gas detectors -- Design and construction 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7875 |
| 巻冊次 | ISBN:3540431438 
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| ISBN | 3540431438 |
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